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影響電子氣體純度及品質的主要因素

發布時間:2022-05-13      點擊次數:216
 
  在集成電路、平面顯示器件和太陽能等電子工業生產環節中,從芯片生產到最后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環節都離不開電子氣體,因此電子氣體堪稱電子制造的“血液”。電子氣體成本僅占IC材料總成本的5%-6%,但是即使只是某一種特定雜質超標,都可能導致產品嚴重缺陷,甚至因為不合格氣體的擴散,導致整個生產線被污染或報廢。因此,電子氣體的品質很大程度上決定了半導體器件性能的好壞,電子氣體純度每提高一個數量級,都會極大地推動半導體器件質的飛躍。
 
  影響電子氣體純度及品質的主要因素包括:氣體的生產和充裝、氣體混配和雜質監控,以及氣體的運輸和儲存三方面。
 
  氣體的生產和充裝
 
  電子氣體生產的瓶頸很多,從原材料純度開始,到合成工藝、對溫度和壓力的控制,再到提純方法和分析方法,以及產品充裝過程中對雜質的控制,每個環節都會影響整個產品的質量。
 
  氣體混配和雜質監控
 
  對于混合氣而言,配比的精度是核心參數,隨著產品組分的增加、配制精度的上升,客戶常要求氣體供應商能夠對多種PPM乃至PPB級濃度的氣體組分進行精細操作,其配制過程的難度與復雜程度也顯著增大。此外,對氣體分析檢測和雜質監控也提出了更高的技術要求。
 
  氣體的運輸和儲存
 
  電子氣體在儲存和運輸過程中要求使用高質量的氣體包裝儲運容器、以及相應的氣體輸送管線、閥門和接口,確保避免二次污染。
 
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