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電子特氣純度提升的影響因素

發布時間:2022-05-20      點擊次數:131
  電子特氣純度提升的影響因素較多,難度較大。電子特氣純度提升的影響因素較多,主要包括三個方面:
 
  1)氣體的分離和提純。
 
  電子特氣的分離和提純方法原理上可分為精餾分離、分子篩吸附分離以及膜分離三大類,在實際提純分離過程中,為了達到更好的分離效率,往往會利用多種分離方法進行組合,工藝更為復雜。
 
  2)氣體雜質檢測和監控。
 
  隨著電子特氣的純度越來越高,對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求,檢測限從最早的ppm級已經發展到ppt級。目前國外電子氣體的分析己經經歷了離線分析、在線分析(on-line),原位分析(insitu)等幾個階段。對于高純度電子氣體的分析,國外已開發出系統完整的分析測試方法和現場分析儀器。而由于我國電子特氣行業一直重生產而輕檢測,因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。
 
  3)氣體的運輸和儲存。
 
  高純電子特氣得來不易,在儲存和運輸過程中要求使用高質量的氣體包裝儲運容器、以及相應的氣體輸送管線、閥門和接口,確保避免二次污染。而我國加工工藝整體落后以及不符合國際規范,市場主要被國外公司占據。國內電子特氣純度仍有待提升。目前國外電子特氣的純度一般在6個“9”(即99.9999%),而國內多在4—5個“9”之間,少數能達到6個“9”。
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